南智先进光电集成技术研究院
现有的纳米加工和纳米表征洁净室面积超过3000平方米。洁净室千级区的温度波动范围可以维持在±0.5℃/h，百级区温度可维持在±0.3℃/h，电子束光刻区域为±0.1℃/h。微纳加工洁净室设备包含光刻、干法刻蚀、沉积、表征和其他常见微纳加工设备。
致力于成为中国实验室建造领域的引领者